從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)

2、然后高壓通過反滲透膜

3、般還要經(jīng)過紫外殺菌以去除水中的微生物

4、假如此時(shí)電阻率還沒有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過程電阻率可達(dá)到18兆。

相對(duì)而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水