技術(shù)應(yīng)用鏈接:
特點(diǎn)
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理
· 配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
· 經(jīng)濟(jì)型等離子清洗機(jī)，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· 操作簡單易使用
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | FEMTO A | ||
控制系統(tǒng) | 手動(dòng)控制 | ||
工藝氣路 | 單路氣體 | ||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
流量計(jì) | 針閥流量計(jì) | ||
單體導(dǎo)入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||
真空 腔體 | 材質(zhì) | 高硼硅玻璃/石英，蓋子門帶觀察窗 | 不銹鋼蓋子門帶觀察窗 |
內(nèi)尺寸(Φ×D) | 95×280mm | 100×278mm | |
容積 | 2L | 2.2L | |
電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | 平行平板電極 | |
發(fā)生器
| 40KHz 0-100W 13.56MHz 0~50W 13.56MHz 0~100W | ||
真空壓力計(jì) | 皮拉尼數(shù)字式壓力計(jì)（選購） | ||
計(jì)時(shí)器 | 模擬數(shù)字式 | ||
托盤 | 高硼硅玻璃，（石英選配），不銹鋼 | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 345x420（570）x211 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度4m3/H | ||
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環(huán)保在線