在上一篇文章里介紹了電子測量儀器方塊電阻的定義以及它的測量方法，可能對測量方法還是有很多人不太理解的，為什么要這樣測量呢？下面，來一起看看吧：
這種測試方法的優(yōu)點是：（1）用這種方法毫歐計可以測試到幾百毫歐，幾十毫歐，甚至更小的方阻值，（2）由于采用四端測試，銅棒和導(dǎo)電膜之間的接觸電阻，銅棒到儀器的引線電阻，即使比被測電阻大也不會影響測試精度。（3）測試精度高。由于毫歐計等儀器的精度很高，方阻的測試精度主要由膜寬W和導(dǎo)電棒BC之間的距離L的機械精度決定，由于尺寸比較大，這個機械精度可以做得比較高。在實際操作時，為了提高測試精度和為了測試長條狀材料，W和L不一定相等，可以使L比W大很多，此時方阻Rs=Rx*W/L,Rx為毫歐計讀數(shù)。此方法雖然精度比較高，但比較麻煩，尤其在導(dǎo)電薄膜材料比較大，形狀不整齊時，很難測試，這時就需要用的四探針探頭來測試材料的方阻，如圖三所示。
探頭由四根探針阻成，要求四根探針頭部的距離相等。四根探針由四根引聯(lián)接到方阻測試儀上，當探頭壓在導(dǎo)電薄膜材料上面時，方阻計就能立即顯示出材料的方阻值，具體原理是外端的兩根探針產(chǎn)生電流場，內(nèi)端上兩根探針測試電流場在這兩個探點上形成的電勢。因為方阻越大，產(chǎn)生的電勢也越大，因此就可以測出材料的方阻值。需要提出的是雖然都是四端測試，但原理上與圖二所示用銅棒測方阻的方法不同。因電流場中僅少部分電流在BC點上產(chǎn)生電壓（電勢）。所示靈敏度要低得多，比值為1：4.53。
影響探頭法測試方阻精度的因素：
（1） 要求探頭邊緣到材料邊緣的距離大大于探針間距，一般要求10倍以上。
（2） 要求探針頭之間的距離相等，否則就要產(chǎn)生等比例測試誤差。
（3） 理論上講探針頭與導(dǎo)電薄膜接觸的點越小越好。但實際應(yīng)用時，因針狀電極容易破壞被測試的導(dǎo)電薄膜材料，所以一般采用圓形探針頭。
zui后談?wù)剬嶋H應(yīng)用中存在的問題
1、如果被測導(dǎo)電薄膜材料表面上不干凈，存在油污或材料暴露在空氣中時間過長，形成氧化層，會影響測試穩(wěn)定性和測試精度。在測試中需要引起注意。
2、如探頭的探針存在油污等也會引起測試不穩(wěn)，此時可以把探頭在干凈的白紙上滑動幾下擦一擦可以了。
3、如果材料是蒸發(fā)鋁膜等，蒸發(fā)的厚度又太薄的話，形成的鋁膜不能均勻的連成一片，而是形成點狀分布，此時方塊電阻值會大大增加，與通過稱重法計算的厚度和方阻值不一樣，因此，此時就要考慮到加入修正系數(shù)。
方塊電阻測試儀ST-21H 是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準，專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
方塊電阻測試儀的詳細介紹
方塊電阻測試儀ST-21H
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
◆ 特點：
1 | 采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測量準確穩(wěn)定，低功耗； |
2 | 以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰； |
3 | 采用單個電池供電，帶電池欠壓指示； |
4 | 體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g； |
5 | 特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜 |
6 | 探頭帶抗靜電模塊 |
◆ 技術(shù)指標：
測量范圍 | 按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：
1.方塊電阻 1.0～1999.9Ω/□；
2.方塊電阻 10～19999Ω/□；
zui小分辨率：0.1Ω/□； |
恒流源 | 測量過程誤差：≤±0.8% |
模數(shù)轉(zhuǎn)換器 | 量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數(shù)點同步顯示； |
測量不確定度 | 在整個量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5% |
四探針探頭規(guī)格 | 間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ |
電源 | 9V疊層電池1節(jié) |
◆ ST-21H方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格：
型號
(Model) | 曲率半徑
(Radius) | 壓力
(loads) | 探針間距
(spacing) | 探針排列
(Arrangement) |
HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 |
HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 |
HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
◆ ST-21H方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格：
型號
(Model) | 曲率半徑
(Radius) | 壓力
(loads) | 探針間距
(spacing) | 探針排列
(Arrangement) |
SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
