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當(dāng)前位置:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>產(chǎn)品展示>>HMDS烘箱
HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè):MEMS、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、Ga...
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強(qiáng)光刻膠和晶圓的粘附力。
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機(jī)即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機(jī)臺(tái)。
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以...
HMDS真空烤箱,MES系統(tǒng)HMDS烤箱將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合...
HMDS涂膠烤箱,MES接口hmds涂布機(jī)的主要作用是對(duì)晶圓做表面處理,以增加光阻在晶圓表面的附著力。當(dāng)晶圓送到黃光區(qū)時(shí),表面可能有含水層,高溫烘烤后去除水氣,...
HMDS涂布機(jī),HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實(shí)...
HMDS烘箱,中國(guó)臺(tái)灣hmds烤箱通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處...
可程式HMDS蒸鍍?cè)O(shè)備,HMDS真空鍍膜機(jī)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了H...
智能型HMDS蒸鍍機(jī)臺(tái)是一種 具有預(yù)處理性能更好,處理更加均勻,效率高,更加節(jié)省藥液特性的智能型烘箱。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶...
HMDS蒸鍍烤箱,可程式HMDS機(jī)臺(tái)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS...
SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機(jī)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處...
HMDS烘箱真空泵,IDP10無(wú)油泵泵具有密封設(shè)計(jì),電機(jī)和軸承與真空環(huán)路全隔離,延長(zhǎng)了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無(wú)油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計(jì),可...
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)報(bào)價(jià)它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS蒸鍍系統(tǒng),無(wú)塵HMDS烤箱?通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS...
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機(jī)物、工藝殘余、可動(dòng)離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉裕鰪?qiáng)表面的黏附性(H...
OAP烘箱,OAP處理烘箱處理主要是為了改善親水性表面,變?yōu)槭杷?,從而達(dá)到增加光刻膠粘附性的作用。
六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附"處理。在光刻中,通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底,這類襯底與光刻膠...
芯片HMDS預(yù)處理,可編程HMDS通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處...
HMDS蒸鍍真空烤箱,芯片HMDS蒸鍍烤箱HMDS的HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體(例如氮?dú)猓е鳫MDS的蒸汽通過(guò)芯片表面,而在晶面上形成一層薄膜
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