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沈陽麥科諾科技有限公司
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聯(lián)系方式：楊經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-12-19 18:42:48瀏覽次數(shù)：335次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線ICP感應耦合等離子體刻蝕機
本設備主要用于常規(guī)尺寸樣片（不超過Φ6-8英寸）的刻蝕，可刻蝕的材料主要有SiO2、Si3N4、多晶硅、硅、SiC、GaN、GaAs、ITO、AZO、光刻膠、半導體材料、部分金屬等。設備具有選擇比高、刻蝕速率快、重復性好等優(yōu)點。
設備主要由高真空刻蝕室、真空獲得及真空測量系統(tǒng)、恒壓系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、ICP系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。
刻蝕材料：Si、SiO2、SiN、Poly-Si、聚合物、光刻膠等材料
氣路：6臺MFC控制6路氣體進氣
樣品有效尺寸：Φ150mm（Φ6英寸）
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